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本文研究市场、主要地区和主要国家磁悬浮分子泵的销量、销售收入等,同时也重点分析范围内主要厂商(品牌)竞争态势,磁悬浮分子泵销量、价格、收入和市场份额等。针对过去五年(2017-2021)年的历史情况,分析历史几年磁悬浮分子泵总体规模,主要地区规模,主要企业规模和份额,主要产品分类规模,下游主要应用规模等。规模分析包括销量、价格、收入和市场份额等。



针对未来几年磁悬浮分子泵的发展前景预测,本文预测到2028年,主要包括和主要地区销量、收入的预测,分类销量和收入的预测,以及主要应用磁悬浮分子泵的销量和收入预测等。 按收入计,2021年磁悬浮分子泵收入大约百万美元,预计2028年达到百万美元,2022至2028期间,年复合增长率CAGR为%。同时2020年磁悬浮分子泵销量大约,预计2028年将达到。



2021年中国市场规模大约为百万美元,在市场占比约为%,同期北美和欧洲市场分别占比为%和%。未来几年,中国CAGR为%,同期美国和欧洲CAGR分别为%和%,亚太地区将扮演更重要角色,除中美欧之外,日本、韩国、印度和东南亚地区,依然是不可忽视的重要市场。市场主要磁悬浮分子泵生产商包括真空、Atlas(Edwards&Leybold)、大阪真空机器制造所、和等,按收入计,2021年大厂商占有大约%的市场份额。


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磁场屏蔽出现的问题

旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:①、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;③、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;④、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。



分子泵启动的条件:①、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度②、启动时间:同时启动——小系统,防前级泵油上返。延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强P=200Pa时,启动分子泵。从逆扩散型检漏仪的检漏过程出发,通过实验讨论分子泵转速对氦质谱检漏仪检测结果的影响,并分析产生这种结果的原因。



分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵是获得高真空和超高真空的关键设备之一。它被广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。它操作简单、启动时间短,在分子流区域内对各种气体的有效抽速几乎不变,对分子量高的气体压缩比高,可以获得清洁无油的高真空和超高真空环境。

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当时现行标准的分子泵不能直接用到圆排机上,因为圆排机的工况,工作过程中灯管不可避免地会产生漏气和破损而产生的压力高、大气流的冲击和碎屑等的情况。鉴于此,由公司专项研制高压强分子泵,由上海涌真机械有限公司实施圆排车制造替换谱拓泵,把公司研制的分子泵应用在上海正贝照明制造的圆排车上,进行的替代设计制造。



此后,公司成功研制出FF-160/500G分子泵,其技术参数详见表1。表1 FF-160/500G复合分子泵技术参数替换方案此前圆排机上的两套分别为:一台ZJP150谱拓泵和TRP-16一台真空泵和凯尼ZJ150谱拓泵和爱发科VD401真空泵的谱拓真空组。左:普通分子泵;右:高压强分子泵替换方案为:一套由一台KYKY公司的FF160/500G分子泵,前级为北仪优成的TRP-60或TRP-48真空泵,过渡真空室、接管、真空测量系统组成的机组(简称分子泵机组)。



现一台分子泵机组拖7工位,可增至10个工位。原两台拖7工位。表2 工作监控情况及对比数据表实际效果对比分析分子泵机组比抽气速率大,真空度高近一个数量级。而且相较而言,分子泵机组的噪音更小,占地面积更小。在运转费用方面,按一年280天计算,每天24h,全年就是6720h。单位:元


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